超精密加工是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm，加工表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技术；当前超精密加工的水平已达到纳米级，形成纳米加工技术。

超精密切削对刀具的要求

        1、极高的硬度、耐用度和弹性模量，以保证刀具有很长的寿命和很高的尺寸耐用度；
        2、刃口能磨得极其锋锐，刃口半径ρ极小，能实现超薄的切削后厚度；
        3、刀刃无缺陷，因切削时刃形将复印在加工表面上，而不能得到超光滑的镜面；
        4、与公家材料的抗粘接性好、化学亲和性小、摩擦因数低，能够得到极好的加工表面完整性；

超精密金刚石刀具切削

        1、当加工应力作用在比较位错缺陷平均分布间隔一微米则还要狭窄的区域时，在此狭窄区域内是不会发生由于位错线移动而产生材料滑移变形；
        2、当加工应力作用在比位错缺陷平均分布间隔还要宽的范围内时，位错线就会在位错缺陷的基础上发生滑移，同时在比剪切力理论值低得多的加工应力作用下，晶体产生滑移变形或塑性变形。
        3、当加工应力作用在比晶粒大小更宽的范围时，多数情况易发生又晶界缺陷所引起的破坏。

超精密加工刀具的重要性

        1、数控刀具的性能和质量直接影响到数控机床生产效率的高低、加工质量的好坏和经济效益；数控加工机床生产效率的高低、被加工工件质量的好坏以及生产成本，在很大程度上取决于数控刀具材料及其刀具结构的合理选择；
        2、数控刀具不仅为先进制造业提供了高效、高性能高的切削刀具，而且还由此开发出了许多新的加工工艺，称为当前进行制造技术发展的重要组成部分和显著特征之一；
        3、数控刀具具有“三高一专”的特点，广泛应用于高速切削、精密和超精密加工、干切削、硬切削和难加工材料的加工等先进制造技术领域，可提高加工效率、加工精度和加工表面质量。
        4、随着数控机床和应用越来越广，数控加工技术代表了现代切削加工技术的发展方向，而切削加工技术的进步是与数控机床和数控刀具的发展和应用密不可分的，只有把数控机床和数控刀具结合起来，才能充分发挥数控加工技术的潜力。

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